為鼓勵優秀學子專心向學，本所設有多項獎學金供同學申請，以協助同學專心研究並順利完成學業(獎學金資訊詳如附件清單):

  碩士班:

1. 中興工程顧問社優秀學生獎學金
2. 清寒優秀學生獎學金
3. 研究生參加國際學術會議經費補助
4. 碩士應屆畢業生論文預講評量績優獎勵
5. 財團法人台灣產業服務基金會優秀學生獎學金
6. 財團法人台聚教育基金會獎學金
7. 中欣工程行劉志祥先生獎學金
8. 日月光集團獎學金
9. 教學及研究助學金

  博士班:

1. 本所碩士研究生攻讀本所博士班獎學金暨SCI期刊論文刊登補助
2. 清寒優秀學生獎學金
3. 研究生參加國際學術會議經費補助
4. 財團法人台灣產業服務基金會優秀學生獎學金
5. 財團法人台聚教育基金會獎學金
6. 中欣工程行劉志祥先生獎學金
7. 日月光集團獎學金
8. 教學及研究助學金